二重変調方式による高性能光半導体解析システムの紹介

静岡大学　電子工学研究所　　　　　　　　　　　　　青山　　満

　中赤外光のデバイスの測定では、周りからの熱輻射成分が測定系にバックグラウンドとして加わり、微弱な信号の測定が困難になる。そこで、二重変調することで、デバイスからの信号成分のみを取り出すこととした。