ＸＰＳによるガラス上Al蒸着膜の分析
（Al蒸着膜とガラス境界付近における異常スペクトルの解明）

東北大学　素材工学研究所　技術部　　　　　　　　　佐藤　史生

　ガラス上に蒸着したAlの状態分析は、その密着性・反射率・酸化性などを検討する上で重要である。ＸＰＳにおいてAlとガラスとの境界付近に異常なスペクトルが出現して解析を困難としたが、種々の施策で解明を行った。