真空チェンバー内にハロゲンランプを導入したベーキング法

東北大学　科学計測研究　技術室　　　　　　　　　　　　　　　
○高橋　勝男、鈴木　正、柴田　吉郎

　分析電子顕微鏡で分析可能な極薄試料の作製には、イオンミリング装置による研磨加工が有用である。本装置を超高真空に保持するため、装置内に市販のハロゲンランプを組み込むベーキング法を考案したので報告する。