光学式非接触表面形状測定装置を用いた表面粗さ測定と膜厚測定

東北大学　科学計測研究所　技術室　　○荒井　　彰、田中　　勇

　数〜数十Åの周期長を持つ軟Ｘ線多層膜を作製するときの基板となる試料の表面粗さをＸ線反射率法で、数百Å程度の単層膜の厚さを多重干渉法で、それぞれを非接触表面形状測定装置による方法と比較して測定を試みた。