ＡＦＭ用雰囲気制御型試料室の作成

静岡大学　工学部　　　　　　　　　　○中本　順子、吉田　真也
　　　　　　　　　　冨田　靖正、小林健吉郎

　ＡＦＭによる試料表面の観察において、試料に物理的操作（ガスを流す、光照射、加熱）を行いながら測定することが要求された。そこでこのような条件下での測定を可能にするために雰囲気制御型試料室の作成を試みた。